Autorzy: Artur Rydosz, Kamila Kollbek, Hoa Kim-Ngan Tarnawska-Nhu, Adam Czapla, Andrzej Brudnik. Tytuł: Optical diagnostics of the magnetron sputtering process of copper in an argon-oxygen atmosphere / Artur Rydosz, Kamila Kollbek, Nhu-Tarnawska H. Kim-Ngan, Adam Czapla, Andrzej Brudnik ¬ródło: Journal of Materials Science-Materials in Electronics. - 2020, Vol. 31, iss. 14, s. 11624-11636 Typ publikacji: ZAA Język publikacji: ENG Punktacja MNiSW: 70.000 Inne bazy podaj±ce opis: